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晶圓劃片機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧隔振基本原理的解讀

高精隔振理論是航 天工程和高精光學(xué)系統(tǒng)準(zhǔn)確測量、試驗(yàn)和生產(chǎn)制造中的重要技術(shù)性。為了獲取高質(zhì)量信息內(nèi)容,需要要在試驗(yàn)系統(tǒng)中進(jìn)行高精隔振。伴隨著科技進(jìn)步的持續(xù)發(fā)展與新產(chǎn)品的不斷創(chuàng)新,對檢測精度的需求愈來愈高,所以對隔振系統(tǒng)給出了更高要求。隔振器的設(shè)計(jì)目標(biāo)是讓隔振系統(tǒng)的固有頻率盡量低,隔振高 效率盡量高。
根據(jù)對被動(dòng)式空氣彈簧隔振基本原理的解讀,找到危害固有頻率的多種要素,為工程技術(shù)員設(shè)計(jì)方案性能出 色隔振器給予理論來源,空氣彈簧隔振系統(tǒng)隔振頻率低,可以獲得較好的隔振實(shí)際效果。
在運(yùn)動(dòng)狀況下,能夠構(gòu)想被動(dòng)式空氣彈簧隔振基本原理的前提將忽然偏移或負(fù)荷會受到外力作用,塑膠膜盒將澎漲和收攏,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)容積高 效承重總面積將產(chǎn)生變化,因而空氣彈簧里的負(fù)荷將因力而挪動(dòng)。與此同時(shí),空氣彈簧與額外制動(dòng)氣室之間有壓力差,一部分氣體從髙壓側(cè)流入低電壓側(cè),其中部分能 量轉(zhuǎn)換為能源,健身運(yùn)動(dòng)損耗。
被動(dòng)式空氣彈簧是一個(gè)繁雜的離散系統(tǒng)系統(tǒng),其強(qiáng)度隨負(fù)載轉(zhuǎn)變而改變。技術(shù)工程師根據(jù)科學(xué)研究密封容器內(nèi)汽體的改變?nèi)^程,設(shè)立了空氣彈簧隔振系統(tǒng)的力學(xué)模型,并推論出固有頻率計(jì)算方法。根據(jù)實(shí)例分析了設(shè)計(jì)參數(shù)對固有頻率產(chǎn)生的影響。文中只考慮到了固有頻率的一個(gè)性能指標(biāo)。針對空氣彈簧隔振系統(tǒng),應(yīng)該考慮隔振高 效率等其它性能指標(biāo)。怎么選擇設(shè)計(jì)參數(shù)的上限值尚需進(jìn)一步探討。
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