SSA600/20步進掃描投影光刻機被動式空氣彈簧實際上大致都能夠歸結(jié)為一個比較密封性空間,但在在其中充進縮小空氣,而目含有一定的彈力,這樣就能具有很明顯的推動作用,與此同時還要含有調(diào)整設(shè)備,例如可以調(diào)節(jié)相對高度
氣體壓力,還可以在整個被震動情況下,具有緩存的功效,技術(shù)專 業(yè)避震企業(yè)提供的被動式空氣彈簧的氣膜一般都是應(yīng)用高 強度塑料薄膜，氣膜承擔(dān)氣壓為10bar，高質(zhì)量的掃描投影光刻機被動式空氣彈簧，全是含有氣壓閥門的，當(dāng)氣壓不穩(wěn)定，或氣壓過大時，氣壓閥門便會根據(jù)放空氣來維護氣膜，也正因為這一原理和優(yōu)勢,因此被動式空氣彈簧組織是比較穩(wěn)定的。
那掃描投影光刻機被動式空氣彈簧安裝的時候要留意那些問題呢？

構(gòu)造是不是平穩(wěn),除開跟所選用的產(chǎn)品質(zhì)量緊密相關(guān)之外,實際上還和安裝是否標(biāo)準(zhǔn)有關(guān),安裝時一定要留意一些事宜,例如，安裝地面坡度，安裝人員的技術(shù)實力，安裝的規(guī)劃部位，安裝自然環(huán)境等多種因素,由于商品歸屬于髙壓裝置,所以才能夠使其損壞或是觸碰明火及其用硬塊撞擊等,在安裝位置的相接處,需要確保能夠靈活多變的旋轉(zhuǎn)等。唯有通過正規(guī)技術(shù)性嚴苛來完成安裝,而且上下之后按時檢驗,才能保障所使用的非常長長期。