不論是工業(yè)化生產(chǎn)亦或是人們的生活，全部活動機(jī)器都是會因遭受驅(qū)動力而震動。震動會傳送到機(jī)器的支撐架并且通過支撐架傳送到機(jī)器自身及其機(jī)器的配件上。震動會導(dǎo)致全部受此影響一個物體疲憊。與此同時，震動也使得噪聲大大的提升，特別是在是是非非路面安裝震動機(jī)器設(shè)備,如裝到樓房里的機(jī)器。而SSB260/20T型投影光刻機(jī)被動式空氣彈簧超過大多數(shù)別的方式的減震器，能降低99百分比的震動疲憊。
被動式空氣彈簧一般由制動氣室、橡膠彈性隔膜和承重板組成。它是一個具有內(nèi)部結(jié)構(gòu)的密封容器。使用空氣可以改變抗震目的。被動式空氣彈簧的固有頻率相對較低(2).6~5.3Hz)，阻尼系數(shù)(0)相對較高.06~0.08)可以獲得較高的抗震效率。投影光刻機(jī)被動式空氣彈簧具有剛度變化的特點，因此在地震設(shè)備設(shè)計中不需要考慮機(jī)械設(shè)備的重點。承載力大，本身總重比較輕。與其它減震器對比，投影光刻機(jī)被動式空氣彈簧具備品質(zhì)小、舒適度好、耐疲憊、堅固耐用等特點，它并且具有避震和消聲功效。這使得其可廣泛運用與許多環(huán)境里并充分發(fā)揮關(guān)鍵作用。